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精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。

在机械检修中，零件一般都要进行逐个检查，其主要内容可分为以下几个方面：

1)零件几何精度的检查

几何精度包括尺寸精度和形状位置精度，但检修工作有时不是追求单个零件的几何尺寸，而是要求相对的配合精度，这往往是检查工作中重要的一环。

形状和位置精度在检修中常见的有圆度、圆柱度、同心度、同轴度、平行度和垂直度等。

2)表面质量的检查

检修工作中的零件表面质量的检查不于表面光洁度的检查，而是对使用过的零件表面有无划伤、烧损和拉毛等缺陷的检查。

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精密模具配件加工工艺就是在流程的基础上，改变生产对象的形状、尺寸、相对位置和性质等，使其成为成品或半成品，是每个步骤，每个流程的详细说明，比如，上面说的，粗加工可能包括毛坯制造，打磨等等，精加工可能分为车，钳工，铣床，等等，每个步骤就要有详细的数据了，比如粗糙度要达到多少，公差要达到多少。